三字班新雅院课清华大学微纳加工中心参观视频

2023年10月20日早晨八点整，刘雷波老师带领新雅三字班的15名同学，来到清华大学集成电路学院微纳加工中心参观芯片生产制造的实验线，近距离接触聚焦离子束显微镜、光刻机等先进设备，体验芯片的制造流程。黄崇赫同学首先为大家介绍了本次活动的内容、主题以及到场嘉宾。此次活动特别邀请到了微纳加工中心副主任伍晓明老师带领同学们进行参观。

所有实验仪器都位于超净间内，所以在进入之前，同学们全体换上了无尘服，以免为实验线带来污染。

本次参观采用同学讲解和老师讲解相结合的模式。同学们在参观之前选择自己感兴趣的仪器设备，搜集大量资料后准备出细致的介绍，并且全程脱稿为大家讲解。

孙舒冉同学首先为大家介绍了超净间。“超净间是指一定空间范围内空气中的微粒子、有害空气、细菌等污染物较少，室内的温度、洁净度、压力及照明、静电等参数保持在一定的范围内的特殊房间。在超净间中进行芯片生产加工，可以得到更高质量的产品、更少的缺陷和更高的效率。”她又从超净间的等级划分、系统组成等方面进行了详细的介绍。

接着，黄锦文同学为我们介绍了介质镀膜机。他为同学们介绍了化学气象沉积和物理沉积的区别，结合老师课上所讲的MOS结构，对介质镀膜机的原理、分类以及相关材料、技术进行了细致的讲解。王潇策同学也为我们介绍了刻蚀机。他用形象生动的比喻阐释了刻蚀机的原理，又对干法和湿法刻蚀进行了对比辨析。

在伍老师的带领下，同学们进入了黄光区，这里有多台光刻机，对环境条件要求更高。崔翔毓同学为我们介绍了光刻机的组成、原理等内容。伍老师为我们展示了掩膜板和晶圆的实物，又带领大家参观了目前全国高校内精度最高的10nm光刻机，让同学们大饱眼福。

随后，同学们离开超净间，参观聚焦离子束显微镜（FIB）。高米壕同学为大家介绍了它的原理以及多种功能，包括故障分析、蚀刻、沉积等等。

最后，刘雷波老师对这次参观进行了总结。“大师重要，大楼也很重要。只有把科技硬实力提高上去，实现前沿的科技突破，国家实力才能有所提升。”李溪茉同学也发表了自己的感想并对参访同学进行了采访。同学们都表示此次参观大开眼界，对光刻机、刻蚀机等高精尖设备留下了深刻的印象。

本次参观让同学们收获颇丰。一方面，它深化了我们对微电子制造设备的认识，让我们面对当下舆论热点有自己的见解和思考。另一方面，集成电路领域的已知和未知激发了我们探索相关领域的兴趣，为我们的专业选择提供指导和帮助。通识更为“芯”雅，我们也期待着能够为“中国芯”的发展贡献自己的一份力量。